Caractérisation hyperfréquences de condensateurs MIM intégrés et incluant le diélectrique ZrO2 comme isolant
T. Bertaud
(1, 2)
,
T.T. Vo
(2)
,
C. Bermond
(2)
,
T. Lacrevaz
(2)
,
Corentin Vallée
(3)
,
Y. Morand
(4)
,
B. Fléchet
(2)
,
A. Farcy
(5, 2)
,
M. Gros-Jean
(6)
,
S. Blonkowski
(4)
1
LTM -
Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
3 CPPM - Centre de Physique des Particules de Marseille
4 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
5 LEA - Laboratoire d'Études Aérodynamiques
6 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
2 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
3 CPPM - Centre de Physique des Particules de Marseille
4 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
5 LEA - Laboratoire d'Études Aérodynamiques
6 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
C. Bermond
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171824
- IdHAL : cedric-bermond
- IdRef : 204250285
T. Lacrevaz
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172496
- IdHAL : thierry-lacrevaz
- ORCID : 0000-0002-6741-3497
- IdRef : 10293908X
B. Fléchet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172505
- IdHAL : bernard-flechet
- IdRef : 102939373