Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
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https://hal.science/hal-00598306
Soumis le : lundi 6 juin 2011-10:46:18
Dernière modification le : vendredi 13 mars 2026-09:27:44
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00598306 , version 1
Citer
G. Ferblantier, F. Ehrhardt, F. Delachat, Marzia Carrada, A. Slaoui. Structural properties of SiOxNy containing silicon nanoparticles deposited by ECR-PECVD. European Material Research Society (E-MRS) Spring Conference, Symposium on Synthesis, Processing & Characterization of Nanoscale Multi Functional Oxide Films, May 2011, Nice, France. ⟨hal-00598306⟩
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