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Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Future directions in acoustic RF MEMS devices

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00575691 , version 1 (11-03-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00575691 , version 1

Citer

Bertrand Dubus. Future directions in acoustic RF MEMS devices. 39th European Solid-State Device Research Conference, ESSDERC 2009, joint with 35th European Solid-State Circuits Conference, ESSCIRC 2009, 2009, Athens, Greece. ⟨hal-00575691⟩
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