Couches minces pérovskites oxynitrures LaTiOxNy : du dépôt à la caractérisation diélectrique basses et haute fréquences
Yu Lu
(1)
,
Ahmed Ziani
(1)
,
Claire Le Paven-Thivet
(1)
,
Ratiba Benzerga
(1)
,
Laurent Le Gendre
(2)
,
Didier Fasquelle
(3)
,
Hussein Kassem
(4)
,
Franck Tessier
(5)
,
Valerie Vigneras
(4)
,
Jean-Claude Carru
(3)
,
Ala Sharaiha
(2)
1
IETR -
Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
2 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
3 LEMCEL - Laboratoire d'Etude des Matériaux et des Composants pour l'Electronique
4 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
5 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
2 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
3 LEMCEL - Laboratoire d'Etude des Matériaux et des Composants pour l'Electronique
4 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
5 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
Ratiba Benzerga
- Fonction : Auteur
- PersonId : 835208
- ORCID : 0000-0002-5755-0041
Laurent Le Gendre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 834293
Didier Fasquelle
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1389508
- ORCID : 0000-0002-1947-1860
- IdRef : 07780287X
Franck Tessier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 9235
- IdHAL : franck-tessier
- ORCID : 0000-0002-1253-7011
- IdRef : 082987459
Jean-Claude Carru
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1192876
- ORCID : 0000-0003-0157-4519
- IdRef : 056755147