Fabrication et caractérisation de micro-dispositifs à base de silicium : applications aux microsystèmes intégrés en technologie de surface - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Fabrication et caractérisation de micro-dispositifs à base de silicium : applications aux microsystèmes intégrés en technologie de surface

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00525426 , version 1 (11-10-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00525426 , version 1

Citer

Laurent Pichon. Fabrication et caractérisation de micro-dispositifs à base de silicium : applications aux microsystèmes intégrés en technologie de surface. 2èmes Rencontres Scientifiques Rennes-Sétif-Strasbourg, Oct 2009, Sétif, Algérie. http://www.univ-setif.dz/RSS2/RSS2009/presentation.html. ⟨hal-00525426⟩
26 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More