Auto-alignement de microlentilles en polymère pour la mise en forme des faisceaux laser de VCSELs
Résumé
Dans ce résumé, nous présentons la réalisation de microlentilles en polymère déposées sur des piédestaux de résine (SU-8) obtenus par photolithographie. La technique mise en œuvre est basée sur l'utilisation de micro-leviers en silicium. Cette étude vise à intégrer des piédestaux et des microlentilles sur la surface de VCSELs afin de contrôler leur divergence. Les caractérisations des microlentilles en MEB (Microscopie Electronique à Balayage) et en profilomètrie optique ont permis d'évaluer l'influence des dimensions du piédestal sur la forme finale de la microlentille. Il a également été mis en évidence l'auto-alignement des microlentilles avec des piédestaux à géométrie circulaire.