Communication Dans Un Congrès
Année : 2002
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00486337
Soumis le : mardi 25 mai 2010-15:29:05
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00486337 , version 1
Citer
C. Durand, B. Pelissier, Corentin Vallée, M. Bonvalot, L. Vallier, et al.. Pulsed Injection Plasma Enhanced MOCVD of high k Y2O3 layers for gate dielectric Application. 49th International AVS Symposium & Topical Conferences, 2002, Denver, United States. ⟨hal-00486337⟩
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