Determination of the Spatial ResolutionFunction in Energy Filtered TEM and Application to Thin Gate Oxides Measurement at 80 eV Energy Loss - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Determination of the Spatial ResolutionFunction in Energy Filtered TEM and Application to Thin Gate Oxides Measurement at 80 eV Energy Loss

Sophie Jullian
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
R. Pantel
  • Fonction : Auteur
M. Juhel
  • Fonction : Auteur
L F Tz Kwakman
  • Fonction : Auteur
G. Vincent
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00486221

Soumis le : mardi 25 mai 2010-13:28:28

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:26

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00486221 , version 1 (25-05-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00486221 , version 1

Citer

Sophie Jullian, R. Pantel, M. Juhel, L F Tz Kwakman, G. Vincent. Determination of the Spatial ResolutionFunction in Energy Filtered TEM and Application to Thin Gate Oxides Measurement at 80 eV Energy Loss. Microscopy and Microanalysis, 2004, Savannah, United States. ⟨hal-00486221⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UGA CNRS FMNT LTM PLASMA_ETCHING
20 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More