Article Dans Une Revue
Micro and Nanosystems
Année : 2009
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https://hal.science/hal-00473719
Soumis le : vendredi 16 avril 2010-11:09:48
Dernière modification le : samedi 7 février 2026-05:07:08
Citer
Denis Remiens, Caroline Soyer, David Troadec, D. Deresmes, D. Jenkins, et al.. Integration and optimisation of PZT piezoelectric thin films in micro and nano dimensional structures. Micro and Nanosystems, 2009, 1, pp.214-225. ⟨10.2174/1876402910901030214⟩. ⟨hal-00473719⟩
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