Article Dans Une Revue Micro and Nanosystems Année : 2009

Integration and optimisation of PZT piezoelectric thin films in micro and nano dimensional structures

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Dates et versions

hal-00473719 , version 1 (16-04-2010)

Identifiants

Citer

Denis Remiens, Caroline Soyer, David Troadec, D. Deresmes, D. Jenkins, et al.. Integration and optimisation of PZT piezoelectric thin films in micro and nano dimensional structures. Micro and Nanosystems, 2009, 1, pp.214-225. ⟨10.2174/1876402910901030214⟩. ⟨hal-00473719⟩
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