Micromachining of an SU-8 flapping-wing flying micro-electro-mechanical system - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Micromechanics and Microengineering Année : 2009

Dates et versions

hal-00472741 , version 1 (13-04-2010)

Identifiants

Citer

Thomas Dargent, X.Q. Bao, Sébastien Grondel, G. Le Brun, J.B. Paquet, et al.. Micromachining of an SU-8 flapping-wing flying micro-electro-mechanical system. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2009, 19, pp.085028-1-10. ⟨10.1088/0960-1317/19/8/085028⟩. ⟨hal-00472741⟩
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