Article Dans Une Revue
Journal of Micromechanics and Microengineering
Année : 2009
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https://hal.science/hal-00472741
Soumis le : mardi 13 avril 2010-10:48:53
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00472741 , version 1
- DOI : 10.1088/0960-1317/19/8/085028
Citer
Thomas Dargent, X.Q. Bao, Sébastien Grondel, G. Le Brun, J.B. Paquet, et al.. Micromachining of an SU-8 flapping-wing flying micro-electro-mechanical system. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2009, 19, pp.085028-1-10. ⟨10.1088/0960-1317/19/8/085028⟩. ⟨hal-00472741⟩
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