Article Dans Une Revue
Journal of Vacuum Science and Technology
Année : 2007
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https://hal.science/hal-00461587
Soumis le : vendredi 5 mars 2010-09:25:25
Dernière modification le : samedi 27 septembre 2025-18:31:19
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00461587 , version 1
Citer
T. Chevolleau, Maxime Darnon, T. David, N. Posseme, J. Torres, et al.. Analysis of chamber wall coatings during the patterning of ultralow-k materials with a metal hard mask: Consequences on cleaning strategies. Journal of Vacuum Science and Technology, 2007, Vol 25, pp. 886-892. ⟨hal-00461587⟩
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