Tensorial model for Photolithography Aerial Image simulation - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Advances in OptoElectronics Année : 2009

Tensorial model for Photolithography Aerial Image simulation

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00459053 , version 1 (23-02-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00459053 , version 1

Citer

Caroline Fossati, Salah Bourennane, Romuald Sabatier, Antonio Di Giacomo. Tensorial model for Photolithography Aerial Image simulation. Advances in OptoElectronics, 2009, 2009, pp.457549. ⟨hal-00459053⟩
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