Article Dans Une Revue
Physica Status Solidi A (applications and materials science)
Année : 2008
Enrique Garcia Caurel : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00458680
Soumis le : lundi 22 février 2010-10:08:13
Dernière modification le : mardi 24 septembre 2024-16:46:17
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00458680 , version 1
Citer
Martin Foldyna, Antonello de Martino, Enric Garcia-Caurel, Razvigor Ossikovski, François Bertin, et al.. Monitoring of critical dimensions of bidimensional gratings by spectroscopic ellipsometry and Mueller matrix polarimetry. Physica Status Solidi A (applications and materials science), 2008, 205, pp.806. ⟨hal-00458680⟩
89
Consultations
0
Téléchargements