Article Dans Une Revue
ECS Transactions
Année : 2009
Yannick Champion : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00457447
Soumis le : mercredi 17 février 2010-12:59:18
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00457447 , version 1
Citer
D. Monnier, M. Gros-Jean, E. Deloffre, F. Volpi, E. Blanquet. PEALD ZrO2 films deposition on Ti and Si substrates. ECS Transactions, 2009, 25 (8), pp.235-241. ⟨hal-00457447⟩
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