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Article Dans Une Revue ECS Transactions Année : 2009

PEALD ZrO2 films deposition on Ti and Si substrates

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00457447 , version 1 (17-02-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00457447 , version 1

Citer

D. Monnier, M. Gros-Jean, E. Deloffre, F. Volpi, E. Blanquet. PEALD ZrO2 films deposition on Ti and Si substrates. ECS Transactions, 2009, 25 (8), pp.235-241. ⟨hal-00457447⟩

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