On gaseous phase of ALD precursors by means of thermodynamics. - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue ECS Transactions Année : 2009

On gaseous phase of ALD precursors by means of thermodynamics.

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Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00457446 , version 1 (17-02-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00457446 , version 1

Citer

P. Violet, I. Nuta, C. Chatillon, E. Blanquet. On gaseous phase of ALD precursors by means of thermodynamics.. ECS Transactions, 2009, 25 (8), pp.567-573. ⟨hal-00457446⟩

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