On gaseous phase of ALD precursors by means of thermodynamics. - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue ECS Transactions Année : 2009

On gaseous phase of ALD precursors by means of thermodynamics.

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Yannick Champion  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00457446

Soumis le : mercredi 17 février 2010-12:56:25

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00457446 , version 1 (17-02-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00457446 , version 1

Citer

P. Violet, I. Nuta, C. Chatillon, E. Blanquet. On gaseous phase of ALD precursors by means of thermodynamics.. ECS Transactions, 2009, 25 (8), pp.567-573. ⟨hal-00457446⟩

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