Article Dans Une Revue
Journal of Microelectromechanical Systems
Année : 2009
Yannick Champion : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00457058
Soumis le : mardi 16 février 2010-15:10:58
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00457058 , version 1
Citer
S. Gravier, M. Coulombier, A. Safi, N. André, J.-P. Raskin, et al.. New MEMS-based nanomechanical testing laboratory - application to aluminium, titanium, polysilicon and silicon nitride thin films.. Journal of Microelectromechanical Systems, 2009, 18 (3), pp.555-569. ⟨hal-00457058⟩
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