New MEMS-based nanomechanical testing laboratory - application to aluminium, titanium, polysilicon and silicon nitride thin films. - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Microelectromechanical Systems Année : 2009
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Dates et versions

hal-00457058 , version 1 (16-02-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00457058 , version 1

Citer

S. Gravier, M. Coulombier, A. Safi, N. André, J.-P. Raskin, et al.. New MEMS-based nanomechanical testing laboratory - application to aluminium, titanium, polysilicon and silicon nitride thin films.. Journal of Microelectromechanical Systems, 2009, 18 (3), pp.555-569. ⟨hal-00457058⟩
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