Communication Dans Un Congrès
Année : 2009
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https://hal.science/hal-00444471
Soumis le : mercredi 6 janvier 2010-16:18:01
Dernière modification le : mercredi 19 février 2025-10:57:26
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00444471 , version 1
Citer
Julien Ladroue, Aline Meritan, Mohamed Boufnichel, Philippe Lefaucheux, Pierre Ranson, et al.. GaN Etching by Inductively Coupled Plasma. 17th International Colloquium on Plasma Processes, Jun 2009, Marseille, France. ⟨hal-00444471⟩
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