Nanocrystalline silicon TFT process using silane diluted in argon-hydrogen mixtures - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00438454 , version 1 (03-12-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00438454 , version 1

Citer

Khalid Kandoussi, Claude Simon, Nathalie . Coulon, Khaled Belarbi, Tayeb Mohammed-Brahim. Nanocrystalline silicon TFT process using silane diluted in argon-hydrogen mixtures. 22nd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, Aug 2007, Breckenridge, United States. ⟨hal-00438454⟩
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