Nitriding process at low temperature for thin metal films in (Ar-N2-H2) expanding ternary plasma
Said Touimi
(1)
,
Isabelle Jauberteau
(1)
,
Sébastien J. Weber
(2)
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Annie Bessaudou
(3)
,
Armand Passelergue
(4)
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Richard Mayet
(5)
,
Jean-Louis Jauberteau
(1)
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A. Aubreton
Isabelle Jauberteau
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- IdRef : 154164852
Sébastien J. Weber
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Armand Passelergue
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Richard Mayet
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Jean-Louis Jauberteau
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A. Aubreton
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