DUV-induced micro and nanopatterning of polymer plasma deposited films - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2009

DUV-induced micro and nanopatterning of polymer plasma deposited films

Olivier Soppera
Ali Dirani
  • Fonction : Auteur
Arnaud Ponche
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00426048 , version 1 (23-10-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00426048 , version 1

Citer

Olivier Soppera, Ali Dirani, Vincent Roucoules, Arnaud Ponche. DUV-induced micro and nanopatterning of polymer plasma deposited films. Microelectronic Engineering, 2009, 86 (4-6), pp.718-721. ⟨hal-00426048⟩

Collections

CNRS
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