Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2009
Colette Turck : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00426048
Soumis le : vendredi 23 octobre 2009-12:57:40
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:52
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00426048 , version 1
Citer
Olivier Soppera, Ali Dirani, Vincent Roucoules, Arnaud Ponche. DUV-induced micro and nanopatterning of polymer plasma deposited films. Microelectronic Engineering, 2009, 86 (4-6), pp.718-721. ⟨hal-00426048⟩
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