Electrochemical behavior of cobalt in post-via etch cleaning solutions - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Solid State Phenomena Année : 2009
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Dates et versions

hal-00417339 , version 1 (15-09-2009)

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Citer

Sabrina Bilouk, Carole Pernel, Lucile Broussous, Valentina Ivanova, Ricardo P. Nogueira. Electrochemical behavior of cobalt in post-via etch cleaning solutions. Solid State Phenomena, 2009, 145-146, pp. 343-346. ⟨10.4028/www.scientific.net/SSP.145-146.343⟩. ⟨hal-00417339⟩
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