Communication Dans Un Congrès
Année : 2009
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https://hal.science/hal-00411887
Soumis le : lundi 31 août 2009-09:54:31
Dernière modification le : mardi 8 juillet 2025-13:09:51
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00411887 , version 1
Citer
Hassam Ridaoui, Ali Dirani, Olivier Soppera, I. Ismailova, Cyril Brochon, et al.. 193 nm photolithographic properties of chemically amplified photoresists with well-defined molecular structures. 26th InternationalConference of Photopolymer Science and Technology, Jun 2009, CHIBA, Japan. ⟨hal-00411887⟩
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