Excimer Laser beam / ITO thin films interaction: from surface reaction to laser processing - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00403019 , version 1 (08-07-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00403019 , version 1

Citer

Gérard Legeay, Xavier Castel, Ratiba Benzerga, Jacques Pinel. Excimer Laser beam / ITO thin films interaction: from surface reaction to laser processing. LPSD 2007 "Laser Processing for Semiconductor Device: Science and Technology", Oct 2007, Saint-Malo, France. ⟨hal-00403019⟩
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