Communication Dans Un Congrès Année : 2006
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00400476 , version 1 (30-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00400476 , version 1

Citer

T. Chevolleau, G. Cunge, Maxime Darnon, R. Ramos, L. Vallier, et al.. Emerging Application of Fluorocarbon Plasmas for Integrated Circuits Fabrication. 8th International workshop on fluorocarbon plasma, 2006, autrans, France. ⟨hal-00400476⟩
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