Emerging Application of Fluorocarbon Plasmas for Integrated Circuits Fabrication - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Emerging Application of Fluorocarbon Plasmas for Integrated Circuits Fabrication

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00400476

Soumis le : mardi 30 juin 2009-18:55:42

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:36:14

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00400476 , version 1 (30-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00400476 , version 1

Citer

T. Chevolleau, G. Cunge, Maxime Darnon, R. Ramos, L. Vallier, et al.. Emerging Application of Fluorocarbon Plasmas for Integrated Circuits Fabrication. 8th International workshop on fluorocarbon plasma, 2006, autrans, France. ⟨hal-00400476⟩

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