Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00398870
Soumis le : jeudi 25 juin 2009-09:28:14
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:30:01
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00398870 , version 1
Citer
T. Chevolleau, Maxime Darnon, T. David, N. Posseme, O. Joubert. Chamber Walls Coatings During Patterning of Dielectric Damascene Structures With a Metallic Hard Mask: Consequences on Cleaning Strategies. Proceeding of PESM, Plasma Etch and Strip in Microelectronics (Workshop), 2007, leuven, Belgium. ⟨hal-00398870⟩
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