Improving the quality of polysilicon active layer of TFTs and the TFT's performance by slight phosphorus doping - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00397827 , version 1 (23-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00397827 , version 1

Citer

Mariem Zaghdoudi, Régis Rogel, Tayeb Mohammed-Brahim, Emmanuel Jacques. Improving the quality of polysilicon active layer of TFTs and the TFT's performance by slight phosphorus doping. 23nd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, Aug 2009, Utrecht, Netherlands. ⟨hal-00397827⟩
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