Communication Dans Un Congrès
Année : 2008
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00397783
Soumis le : mardi 23 juin 2009-11:20:49
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:23:40
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00397783 , version 1
Citer
M. Touzeau, R. Ramos, D. Vempaire, G. Cunge, N. Sadeghi. Spectroscopic investigation of plasma etching reactors. VI Workshop em Fisica Molecular e Spectroscopia, 2008, Brazil. ⟨hal-00397783⟩
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