The challenges in gate stack patterning for the next technological nodes
E. Pargon
(1)
,
T. Morel
,
E. Sungauer
(1)
,
A. Bazin
,
M. Martin
(1)
,
K. Menguelti
(1)
,
O. R. Joubert
(1)
,
T. Chevolleau
(1)
,
L. Vallier
(1)
,
G. Cunge
(1)
,
X. Mellhaoui
,
R. Ramos
(1)
,
S. Barnola
,
J. Foucher
E. Pargon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 180469
- IdHAL : erwine-pargon
- ORCID : 0000-0002-6337-9180
T. Morel
- Fonction : Auteur
A. Bazin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 761192
- ORCID : 0000-0002-5656-4708
X. Mellhaoui
- Fonction : Auteur
R. Ramos
- Fonction : Auteur
- PersonId : 854590
- IdHAL : raphramos
- ORCID : 0000-0003-0627-6959
S. Barnola
- Fonction : Auteur
J. Foucher
- Fonction : Auteur