Metal gate stack plasma patterning studies
L. Vallier
(1)
,
T. Chevolleau
(1)
,
O. R. Joubert
(1)
,
G. Cunge
(1)
,
A. Le Gouil
(1)
,
M. Helot
(1)
,
E. Richard
,
R. Ramos
(1)
E. Richard
- Fonction : Auteur
R. Ramos
- Fonction : Auteur
- PersonId : 854590
- IdHAL : raphramos
- ORCID : 0000-0003-0627-6959