Article Dans Une Revue
Science
Année : 2008
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00397110
Soumis le : vendredi 19 juin 2009-15:30:03
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00397110 , version 1
Citer
T. Lill, O. R. Joubert. Materials science- The cutting edge of plasma etching. Science, 2008, pp.319, 1050-1051, (2008). ⟨hal-00397110⟩
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