Integration and characterization of gas cluster processing for copper interconnects electromigration improvement
R. Gras
,
Lg. Gosset
,
E. Petitprez
,
Vivette Girault
,
M. Hopstaken
,
Sophie Jullian
,
G. Imbert
,
Y. Le Friec
,
J. Bienacel
,
J. Guillan
(1)
,
T. Chevolleau
(2)
,
S. Sherman
,
M. Tabat
,
J. Hautala
,
J. Torres
R. Gras
- Fonction : Auteur
Lg. Gosset
- Fonction : Auteur
E. Petitprez
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1327935
- IdRef : 06179998X
Vivette Girault
- Fonction : Auteur
- PersonId : 957248
M. Hopstaken
- Fonction : Auteur
Sophie Jullian
- Fonction : Auteur
G. Imbert
- Fonction : Auteur
Y. Le Friec
- Fonction : Auteur
J. Bienacel
- Fonction : Auteur
S. Sherman
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M. Tabat
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J. Hautala
- Fonction : Auteur
J. Torres
- Fonction : Auteur
- PersonId : 19292
- IdHAL : jeremie-torres
- ORCID : 0000-0001-5874-0990
- IdRef : 069404429