Integration and characterization of gas cluster processing for copper interconnects electromigration improvement - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2007

Integration and characterization of gas cluster processing for copper interconnects electromigration improvement

R. Gras
  • Fonction : Auteur
Lg. Gosset
  • Fonction : Auteur
E. Petitprez
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1327935
  • IdRef : 06179998X
Vivette Girault
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 957248
M. Hopstaken
  • Fonction : Auteur
Sophie Jullian
  • Fonction : Auteur
G. Imbert
  • Fonction : Auteur
Y. Le Friec
  • Fonction : Auteur
J. Bienacel
  • Fonction : Auteur
S. Sherman
  • Fonction : Auteur
M. Tabat
  • Fonction : Auteur
J. Hautala
  • Fonction : Auteur
J. Torres
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00397088 , version 1 (19-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00397088 , version 1

Citer

R. Gras, Lg. Gosset, E. Petitprez, Vivette Girault, M. Hopstaken, et al.. Integration and characterization of gas cluster processing for copper interconnects electromigration improvement. Microelectronic Engineering, 2007, pp.84, (2007) 2675-2680. ⟨hal-00397088⟩
58 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More