Article Dans Une Revue
Solid State Phenomena
Année : 2005
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00397053
Soumis le : vendredi 19 juin 2009-14:22:01
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:43
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00397053 , version 1
Citer
N. Posseme, T. David, P. Meininger, O. Louveau, T. Chevolleau, et al.. Impact of downstream ash plasmas on ultra low-k materials. Solid State Phenomena, 2005, pp.103-104 (2005), 337-340. ⟨hal-00397053⟩
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