Chemical-vapour-deposition growth and electrical characterization of intrinsic silicon nanowires
B. Salem
(1)
,
F. Dhalluin
(1)
,
T. Baron
(1)
,
H. Jamgotchian
(2)
,
F. Bedu
(2)
,
H. Dallaporta
(2)
,
P. Gentile
(3)
,
N. Pauc
(3)
,
M. den Hertog
(4)
,
J.L. Rouviere
(4)
,
P. Ferret
(5)
1
LTM -
Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 CRMCN - Centre de recherche de la matière condensée et des nanosciences
3 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
4 LEMMA - Laboratoire d'Etude des Matériaux par Microscopie Avancée
5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 CRMCN - Centre de recherche de la matière condensée et des nanosciences
3 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
4 LEMMA - Laboratoire d'Etude des Matériaux par Microscopie Avancée
5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
B. Salem
- Fonction : Auteur
- PersonId : 174867
- IdHAL : bassem-salem
- ORCID : 0000-0001-8038-3205
- IdRef : 092216625
T. Baron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739925
- IdHAL : thierry-baron
- ORCID : 0000-0001-5005-6596
- IdRef : 130661813
H. Jamgotchian
- Fonction : Auteur
- PersonId : 175837
- IdHAL : haik-jamgotchian
- ORCID : 0000-0002-7994-0825
- IdRef : 079353029
F. Bedu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 14922
- IdHAL : frederic-bedu
P. Gentile
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170318
- IdHAL : pascal-gentile
- ORCID : 0000-0002-1547-4247
- IdRef : 202987515
M. den Hertog
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171796
- IdHAL : martien-den-hertog
- ORCID : 0000-0003-0781-9249
- IdRef : 138940746
J.L. Rouviere
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171210
- IdHAL : jean-luc-rouviere
- ORCID : 0000-0001-8731-3074
- IdRef : 086257374