Article Dans Une Revue
Journal of Vacuum Science and Technology
Année : 2005
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00394718
Soumis le : vendredi 12 juin 2009-13:04:36
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:22
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00394718 , version 1
Citer
J. Tallal, K. Berton, M. Gordon, D. Peyrade. 4 Inch lift-off process by trilayer nanoimprint lithography. Journal of Vacuum Science and Technology, 2005, pp.B, 23, (2005) 2914-2919. ⟨hal-00394718⟩
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