4 Inch lift-off process by trilayer nanoimprint lithography - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science and Technology Année : 2005

4 Inch lift-off process by trilayer nanoimprint lithography

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00394718 , version 1 (12-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00394718 , version 1

Citer

J. Tallal, K. Berton, M. Gordon, D. Peyrade. 4 Inch lift-off process by trilayer nanoimprint lithography. Journal of Vacuum Science and Technology, 2005, pp.B, 23, (2005) 2914-2919. ⟨hal-00394718⟩
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