Article Dans Une Revue
Material Science and Engineering B
Année : 2008
Chahla Domenget : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00394088
Soumis le : mercredi 10 juin 2009-14:39:51
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:22:28
Citer
J. Grelin, Elise Ghibaudo, J.E. Broquin. Study of deeply buried waveguides: A way towards 3D integration. Material Science and Engineering B, 2008, 149 (2), pp.185-189. ⟨10.1016/j.mseb.2007.11.013⟩. ⟨hal-00394088⟩
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