The Ge condensation technique: a solution for planar SOI/GeOI co-integration for advanced CMOS technologies?
B. Vincent
,
J.F. Damlencourt
,
Y. Morand
,
A. Pouydebasque
,
C. Le Royer
,
L. Clavelier
,
N. Dechoux
,
P. Rivallini
,
T. Nguyen
,
S. Cristoloveanu
(1)
,
Y. Campidelli
,
D. Rouchon
,
Michel Mermoux
,
S. Deleonibus
,
D. Bensahel
,
T. Billon
B. Vincent
- Fonction : Auteur
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J.F. Damlencourt
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Y. Morand
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A. Pouydebasque
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C. Le Royer
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L. Clavelier
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N. Dechoux
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P. Rivallini
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T. Nguyen
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S. Cristoloveanu
- Fonction : Auteur
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Y. Campidelli
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D. Rouchon
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Michel Mermoux
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S. Deleonibus
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D. Bensahel
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T. Billon
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