Controlling Germanium Oxidation With a Vacuum Substrate Carrier - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Semiconductor International, March 2007 Année : 2007

Controlling Germanium Oxidation With a Vacuum Substrate Carrier

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00390576

Soumis le : mardi 2 juin 2009-14:21:15

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:53:23

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00390576 , version 1 (02-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00390576 , version 1

Citer

B. Pelissier, H. Kambara, E. Godot, E. Veran, V. Loup, et al.. Controlling Germanium Oxidation With a Vacuum Substrate Carrier. Semiconductor International, March 2007, 2007, pp.10. ⟨hal-00390576⟩

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