Communication Dans Un Congrès
Année : 2002
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00390544
Soumis le : mardi 2 juin 2009-13:41:09
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00390544 , version 1
Citer
B. Pelissier, C. Durand, Corentin Vallée, M. Bonvalot, L. Vallier, et al.. Pulsed Plasma Enhanced MOCVD of high k Y2O3 layers for gate dielectric applications. Présentation MRS 2002 (fall meeting), 2002, boston, United States. ⟨hal-00390544⟩
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