Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Improved SiCOI Structures Elaborated by Heteroepitaxy of 3C-SiC on SOI

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00389892 , version 1 (30-05-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00389892 , version 1

Citer

Thierry Chassagne, Gabriel Ferro, H. Y. Wang, Yanis Stoemenos, Hervé Peyre, et al.. Improved SiCOI Structures Elaborated by Heteroepitaxy of 3C-SiC on SOI. International Conference on Silicon and Carbide and Related Materials 2001 (9th) (ICSCRM2001), Oct 2001, Tsukuba, Japan. pp.343-346. ⟨hal-00389892⟩
94 Consultations
0 Téléchargements

Partager

  • More