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Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Experimental and Thermodynamics for the Evaluation of ALD growth processes

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00389286 , version 1 (28-05-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00389286 , version 1

Citer

E. Blanquet, R. Boichot, C. Chatillon, A. Mantoux, I. Nuta, et al.. Experimental and Thermodynamics for the Evaluation of ALD growth processes. International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF) 2009, 2009, United States. ⟨hal-00389286⟩

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UGA CNRS SIMAP
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