Ellipsometry studies of the kinetic of deprotection of thin 193 nm positive tone resist film - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Proceeding of SPIE Année : 2008

Ellipsometry studies of the kinetic of deprotection of thin 193 nm positive tone resist film

H. Ridaoui
  • Fonction : Auteur
S. Derrough
  • Fonction : Auteur
C. Sourd
  • Fonction : Auteur
H. Trouve
  • Fonction : Auteur
A. Pikon
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00387486 , version 1 (25-05-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00387486 , version 1

Citer

H. Ridaoui, J.H. Tortai, S. Derrough, C. Sourd, H. Trouve, et al.. Ellipsometry studies of the kinetic of deprotection of thin 193 nm positive tone resist film. Proceeding of SPIE, 2008, pp.vol 6923, 692326-7. ⟨hal-00387486⟩
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