Communication Dans Un Congrès
Année : 2008
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00387429
Soumis le : lundi 25 mai 2009-13:57:47
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:44
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00387429 , version 1
Citer
R. Galand, D. Boutry, A. Beaurain, A. Francone, B. Pelissier, et al.. On the degradation of anti-sticking layers during nanoimprint lithography. International Conference on Nanoimprint and Nanoprint technology NNT08, 2008, kyoto, Japan. ⟨hal-00387429⟩
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