Replication of sub 40 nm nanoelectrodes over a 8-in substrate by nanoimprint lithography - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2005
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00385740 , version 1 (20-05-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00385740 , version 1

Citer

J. Tallal, D. Peyrade, F. Lazzarino, K. Berton, C. Perret, et al.. Replication of sub 40 nm nanoelectrodes over a 8-in substrate by nanoimprint lithography. Microelectronic Engineering, 2005, 78-79, pp.676-681. ⟨hal-00385740⟩
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