Replication of sub 40 nm nanoelectrodes over a 8-in substrate by nanoimprint lithography
J. Tallal
(1)
,
D. Peyrade
(1)
,
F. Lazzarino
(1)
,
K. Berton
(1)
,
C. Perret
(1)
,
M. Gordon
(1)
,
C. Gourgon
(1)
,
P. Schiavone
(1)
D. Peyrade
- Fonction : Auteur
- PersonId : 181967
- IdHAL : david-peyrade
- IdRef : 069866112
P. Schiavone
- Fonction : Auteur
- PersonId : 742390
- IdHAL : patrick-schiavone
- ORCID : 0000-0002-0850-7127
- IdRef : 031703313