Communication Dans Un Congrès
Année : 2008
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00385126
Soumis le : lundi 18 mai 2009-14:16:48
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:41:44
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00385126 , version 1
Citer
J.H. Tortai, H. Trouvé, S. Soulan, Ayse Akbalik. UV impact on the optical properties of thin films of positive tone chemically amplified resist.. In Proceedings MNE 2008, Micro and Nano Engineering. Athens, Greece., Sep 2008, Greece. ⟨hal-00385126⟩
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