Article Dans Une Revue
Plasma Sources Science and Technology
Année : 2005
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00384291
Soumis le : jeudi 14 mai 2009-17:06:15
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00384291 , version 1
Citer
G. Cunge, B. Pelissier, O. Joubert, R. Ramos, C. Maurice. New chamber walls conditioning and cleaning strategies to improve the stability of plasma processes. Plasma Sources Science and Technology, 2005, pp.14 599. ⟨hal-00384291⟩
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