Article Dans Une Revue
Journal of The Electrochemical Society
Année : 2008
Yannick Champion : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00374706
Soumis le : jeudi 9 avril 2009-15:06:04
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00374706 , version 1
Citer
P. Caubet, T. Blomberg, R. Benaboud, C. Wyon, E. Blanquet, et al.. Low-Temperature low-resistivity PEALD TiN using TDMAT under hydrogen redecing ambient. Journal of The Electrochemical Society, 2008, 155 (8), pp.625-632. ⟨hal-00374706⟩
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