Article Dans Une Revue
Journal of The Electrochemical Society
Année : 2009
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https://hal.science/hal-00374416
Soumis le : mercredi 8 avril 2009-16:19:14
Dernière modification le : samedi 27 septembre 2025-19:05:04
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00374416 , version 1
Citer
D. Monnier, I. Nuta, C. Chatillon, M. Gros-Jean, F. Volpi, et al.. Gaseous phase study of the Zr-organometallic ALD precursor TEMAZ by mass spectrometry. Journal of The Electrochemical Society, 2009, 156 (1), pp.71-75. ⟨hal-00374416⟩
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