Communication Dans Un Congrès
Année : 2008
Yannick Champion : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00373856
Soumis le : mardi 7 avril 2009-14:43:46
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00373856 , version 1
Citer
J.P. Simon, V. Jousseaume, A. Zenasni, D. Babonneau. GISAXS Study of Porous SiOCH Dielectrics used in Advanced Microelectronic Interconnections. Annual symposium MRS, Dec 2008, United Kingdom. ⟨hal-00373856⟩
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