GISAXS Study of Porous SiOCH Dielectrics used in Advanced Microelectronic Interconnections - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

GISAXS Study of Porous SiOCH Dielectrics used in Advanced Microelectronic Interconnections

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00373856 , version 1 (07-04-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00373856 , version 1

Citer

J.P. Simon, V. Jousseaume, A. Zenasni, D. Babonneau. GISAXS Study of Porous SiOCH Dielectrics used in Advanced Microelectronic Interconnections. Annual symposium MRS, Dec 2008, United Kingdom. ⟨hal-00373856⟩

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