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Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Bulk acoustic wave resonator : a challenging object for thin film metrology

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00369958 , version 1 (23-03-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00369958 , version 1

Citer

P. Emery, Arnaud Devos. Bulk acoustic wave resonator : a challenging object for thin film metrology. Ecole thématique CNRS : Son et Lumière, from microphotonics to nanophotonics, 2006, Cargèse, France. ⟨hal-00369958⟩
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